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除了激光，玻璃打孔的方式還有哪些？

制備方法有噴砂、機械鉆孔、干法刻蝕、濕法腐蝕、聚焦放電等方式，見下表：

使用激光打孔的好處？

1，激光可實現(xiàn)高精度定位，孔位誤差??；無需掩膜或鉆頭；能加工微米級孔徑（<10 μm），也可根據(jù)功率調整孔深/孔徑比。

2，通過參數(shù)調節(jié)、聚焦控制可實現(xiàn)高密度陣列孔，

3，可實現(xiàn)批量自動打孔，加工速度快；適合大尺寸面板化封裝工藝。

激光燒蝕與激光誘導刻蝕的區(qū)別？

項目	激光燒蝕	激光誘導刻蝕
原理	高能激光直接將材料氣化/熔化燒蝕	飛秒激光在玻璃內部誘導結構變化，再通過化學腐蝕清除受損區(qū)域
步驟流程	單步完成：激光直寫打孔	兩步：①飛秒激光寫入軌跡 → ②濕法腐蝕移除變性玻璃
能量特性	通常使用CO?激光、UV激光，熱效應明顯	飛秒激光，極短脈沖，無熱影響區(qū)
玻璃損傷	易產(chǎn)生熱裂紋、邊緣崩裂	幾乎無熱裂紋，孔壁光滑、結構完整
孔的精度與形狀控制	孔形受限，孔口易塌邊、不垂直	可實現(xiàn)高深寬比、高密度、垂直孔、異形孔陣列

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