一顆小小的芯片,可能左右著一個(gè)行業(yè),甚至全球科技的格局。杭州一家團(tuán)隊(duì)的技術(shù),為它的生產(chǎn)打下了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。
近日,西湖儀器宣布再次攻克一項(xiàng)技術(shù)難題:通過激光隱切技術(shù),成功剝離出厚度小于100微米的超薄金剛石單晶片。
100微米是個(gè)什么概念?約等于一根頭發(fā)絲的直徑或者一張A4紙的厚度。
單晶金剛石屬于高硬脆材料,再加上它的解理面與晶圓切片方向存在較大角度差異,這使得剝離更具挑戰(zhàn)。西湖儀器利用激光在金剛石材料內(nèi)部進(jìn)行精確的非接觸改性加工,從而實(shí)現(xiàn)超薄片的分離。
西湖儀器的技術(shù),來(lái)源于西湖大學(xué)仇旻教授團(tuán)隊(duì)。公司成立之初,研發(fā)團(tuán)隊(duì)便攻克了碳化硅襯底激光剝離技術(shù),僅用3年時(shí)間就完成碳化硅襯底激光剝離設(shè)備的技術(shù)開發(fā)、應(yīng)用驗(yàn)證和商業(yè)化落地。
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