近日，晟光硅研半導(dǎo)體科技有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“晟光硅研”）在水導(dǎo)激光技術(shù)產(chǎn)業(yè)化方面取得關(guān)鍵進(jìn)展。該公司總經(jīng)理?xiàng)钌诮邮堋督?jīng)濟(jì)參考報(bào)》記者專(zhuān)訪時(shí)介紹，晟光硅研作為中國(guó)水導(dǎo)激光技術(shù)的先行者，始終結(jié)合客戶產(chǎn)業(yè)化的技術(shù)需求，進(jìn)行水導(dǎo)激光技術(shù)設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化自主研發(fā)。

資料顯示，晟光硅研成立于2021年，自2023年全國(guó)產(chǎn)化設(shè)備定型，累計(jì)完成設(shè)備銷(xiāo)售30余臺(tái)（套），是中國(guó)率先完全實(shí)現(xiàn)商用化水導(dǎo)激光技術(shù)設(shè)備的研發(fā)制造企業(yè)，為航空先進(jìn)復(fù)材及半導(dǎo)體材料的高精度、低損傷加工提供了優(yōu)質(zhì)的解決方案。

據(jù)楊森介紹，水導(dǎo)激光技術(shù)作為一種新型激光制造技術(shù)，通過(guò)將水和激光耦合加工，利用光的全反射效應(yīng)，在水射流內(nèi)精確傳導(dǎo)激光，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)材料的精細(xì)去除。楊森指出：“與傳統(tǒng)激光加工相比，水導(dǎo)激光減少了熱影響區(qū)，避免了材料微裂紋、熔融殘留等問(wèn)題，適合對(duì)熱敏感和高可靠性要求的航空發(fā)動(dòng)機(jī)相關(guān)零部件制造，其技術(shù)原理的線性激光延展了精密加工的深徑比極限，為設(shè)計(jì)端提供了更大的優(yōu)化空間。在半導(dǎo)體領(lǐng)域，該技術(shù)能夠?yàn)榭蛻籼峁┨豳|(zhì)增效的優(yōu)秀解決方案?！?/p>

為輕量化與高強(qiáng)度材料加工提供新路徑

隨著航空航天裝備向輕量化、高性能方向發(fā)展，碳纖維復(fù)合材料、陶瓷基復(fù)合材料等難加工材料的應(yīng)用日益廣泛。

楊森表示：“水導(dǎo)激光技術(shù)在航空先進(jìn)復(fù)合材料高精度打孔、異形結(jié)構(gòu)加工等方面具有獨(dú)特優(yōu)勢(shì)。例如，在航空發(fā)動(dòng)機(jī)渦輪葉片氣膜孔、陶瓷基復(fù)材、碳纖維復(fù)材的精密加工等場(chǎng)景中，該技術(shù)可實(shí)現(xiàn)無(wú)機(jī)械應(yīng)力、無(wú)分層，避免熱損傷、崩邊、毛刺等缺陷的高質(zhì)量加工，提升結(jié)構(gòu)件壽命及性能。歷經(jīng)三年聯(lián)合客戶深耕材料特性稟賦、細(xì)酌工藝參數(shù)優(yōu)化，已經(jīng)為中航工業(yè)整機(jī)廠、中國(guó)航發(fā)典型發(fā)動(dòng)機(jī)完成數(shù)十款新型零部件的定型，水導(dǎo)激光已成為我國(guó)航空先進(jìn)材料精密制造的新型加工技術(shù)?！?/p>

目前，晟光硅研在航空航天市場(chǎng)開(kāi)拓領(lǐng)域取得了重要進(jìn)展，公司研制的水導(dǎo)激光設(shè)備順利通過(guò)了整機(jī)驗(yàn)證階段，并成為中國(guó)率先正式進(jìn)入航空整機(jī)廠工程實(shí)踐階段的水導(dǎo)激光產(chǎn)品。

構(gòu)建跨行業(yè)工藝開(kāi)發(fā)新生態(tài)

為推動(dòng)水導(dǎo)激光技術(shù)在多行業(yè)的規(guī)?；瘧?yīng)用，晟光硅研已建成涵蓋光學(xué)設(shè)計(jì)、流體控制、運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)及智能工藝軟件的全鏈條研發(fā)體系，并推出多款具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的水導(dǎo)激光加工設(shè)備。公司專(zhuān)利體系布局完善，在審核及已授權(quán)專(zhuān)利120余項(xiàng)。

“我們不僅提供標(biāo)準(zhǔn)化設(shè)備，更注重與客戶共同開(kāi)發(fā)定制化工藝解決方案?！睏钌硎尽Ｔ摴九c西安電子科技大學(xué)、西安交通大學(xué)、西北工業(yè)大學(xué)共建產(chǎn)學(xué)研合作平臺(tái)，聚焦行業(yè)共性難題，開(kāi)發(fā)并積累了一系列針對(duì)400多種不同硬脆材料與結(jié)構(gòu)的成熟加工工藝數(shù)據(jù)庫(kù)。

作為高新技術(shù)企業(yè)及省級(jí)專(zhuān)精特新企業(yè)，該公司已在水導(dǎo)激光光束質(zhì)量控制、自適應(yīng)加工系統(tǒng)、大行程五軸、六軸航空專(zhuān)用龍門(mén)設(shè)備裝配等領(lǐng)域布局多項(xiàng)核心專(zhuān)利。公司通過(guò)研究激光與物質(zhì)作用的微觀成形機(jī)制，開(kāi)展光學(xué)設(shè)計(jì)研究，攻克了光水耦合等核心技術(shù)，完成水導(dǎo)激光技術(shù)設(shè)備整機(jī)研發(fā)、樣機(jī)試制、定型及小批量生產(chǎn)，為航空航天、半導(dǎo)體、精密醫(yī)療器械等硬脆材料加工領(lǐng)域提供全新的技術(shù)解決方案。

以創(chuàng)新工藝賦能高端制造自主可控

“水導(dǎo)激光不僅是一項(xiàng)加工技術(shù)，更是未來(lái)精密制造產(chǎn)業(yè)鏈的重要革新?！睏钌硎?，“晟光硅研將繼續(xù)深化該技術(shù)在半導(dǎo)體、航空航天等我國(guó)重要戰(zhàn)略產(chǎn)業(yè)的應(yīng)用，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)高端裝備與工藝的自主化研發(fā)進(jìn)程，助力中國(guó)制造向高精度、高可靠性方向邁進(jìn)?！?/p>

楊森表示，未來(lái)，公司計(jì)劃進(jìn)一步擴(kuò)大產(chǎn)能，加強(qiáng)國(guó)際合作，致力于成為全球水導(dǎo)激光技術(shù)研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化的重要推動(dòng)者，為全球高端制造業(yè)提供中國(guó)創(chuàng)新的工藝解決方案。