深圳新聞網(wǎng)2025年12月26日訊（深圳特區(qū)報記者 張銳）12月25日，深圳技術(shù)大學半導體微納加工中心與測試平臺正式落成。作為深圳市首個聚焦化合物半導體光電子領域的公共服務平臺，該平臺的投用填補了深圳市在“光載信息”和“智能傳感”半導體芯片領域的空白，將為粵港澳大灣區(qū)半導體產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展提供關(guān)鍵支撐，筑牢深技大應用研究型人才培養(yǎng)根基。

深圳技術(shù)大學半導體微納加工中心與測試平臺是國內(nèi)高校系統(tǒng)中獨立建成的規(guī)模最大、工藝最完整、運營職業(yè)化的化合物半導體光電芯片公共服務平臺之一。中心建筑面積2600平方米，其中千級、百級及萬級潔凈區(qū)面積達2100平方米。作為深圳市首個同時支撐化合物光電芯片與MEMS傳感芯片上游制造的公共服務平臺，配置120余臺套先進教學與研發(fā)工藝設備，構(gòu)建起覆蓋光刻、刻蝕、薄膜沉積、切磨拋及測試表征等關(guān)鍵環(huán)節(jié)的全流程工藝體系，可提供“設計—加工—封裝—測試”一站式技術(shù)解決方案。

人才培養(yǎng)方面，中心精準對接深技大應用研究型人才培養(yǎng)需求，依托深技大集成電路與光電芯片學院，組建了由50多名高層次科研人員構(gòu)成的核心團隊，已構(gòu)建起從基礎研究到工藝實現(xiàn)、從中試到產(chǎn)業(yè)化的完整創(chuàng)新鏈條。

據(jù)介紹，半導體微納加工中心與測試平臺將以專業(yè)化、高水平的半導體加工與測試服務為核心抓手，加快破解半導體光電產(chǎn)業(yè)領域關(guān)鍵核心技術(shù)，加速推動半導體與集成電路領域研究成果的工程化突破、產(chǎn)業(yè)化應用、市場化推廣，為深圳市半導體產(chǎn)業(yè)和坪山區(qū)“中國芯”支柱產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展提供堅實支撐。